產品應用

Inline晶圓台的設計需要綜合考慮平整度、穩定性、材料（liào）選擇、熱管理、電磁兼（jiān）容性、真空兼容性（xìng）、傳輸機製（zhì）、清潔與維護、傳感器集成、自動化（huà）與集成以（yǐ）及安全性與可靠性等（děng）多個方麵，以確保其高（gāo）效、穩定地運行，並（bìng）滿（mǎn）足半導體製造的需求（qiú）。